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品质流量计和节制器引擎盖下的首要组件详细先容

来源: 小说作品: 组阁期限:2019-05-16 11:07:51
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引擎盖下– MFM和MFC的首要组件
 
     的品质FL 流计(MFM)具备5个首要局部构成:活动体,活动调理部,流量传感器管,旁路,和电子产物。  甲品质流量节制器(MFC)具备不异的组件,一个MFM,还具备装配在不异的活动体的MFM(参见图1)的全体节制阀。
品质流量节制器(MFC)
活动体
 
     通用品质气体流量计和品质流量节制器 (MFC)凡是只要三种流量体尺寸可以或许笼盖仪器的全部流量规模:低流量,中流量和高流量。下表中显现了三种流量体尺寸的气体流量规模。低流量阀体凡是由一块不锈钢棒料加工而成。为了领会它们绝对松散的尺寸,MFC具备以下近似的宽度和长度(不包罗入口和出口配件):低流量-1.0 W x 3.0 L英寸(25 W x 76 L mm);中流量-1.5 W x 4.5 L英寸(38 W x 114 L毫米); 高流量-3.0 W x 9.0 L英寸(76 W x 229 L mm)。MFM凡是具备不异的宽度,但在中等流量和高流量时,其长度约为三分之二。
 
 
     流体尺寸 很是大品质流量规模(slpm)
     低流量 0至50
     中流量 0至300
     高活动性 0至1500
 
     流量体具备入口和出口流量导管配件,并包容流量调理局部,流量传感器管,旁通/层流元件,对MFC,则包罗节制阀。电子装备装配在流体顶部的外壳中。典范流量体的润湿部件及其外部组件由耐侵蚀资料制成。通用MFM和MFC的流体的典范润湿资料为:316 L不锈钢;阀门中的铁磁不锈钢;含氟弹性体和其余高等弹性体资料的“ O”形圈和阀座。一些用于轻载和低精度利用的低本钱仪器具备由塑料或铝制成的畅通体。
 
     在全部流量体内带有弹性体密封件的仪器收支流量体内的泄露率绝对较低。真空工艺中利用的MFM和MFC在流体内的一切地位都利用金属密封,以进一步降落泄露率。制作商应利用质谱仪检漏仪或等效仪器对每台仪器停止氦气泄露查抄。另外,一切仪器应合适合用的加压装备标准和标准,制作商应答一切仪器停止压力测试以确保合规。
 
     出产线凡是是外径为1 / 8、1 / 4、3 / 8、1 / 2、3 / 4和1英寸(6、10、12和20毫米)的管。很是罕见的尺寸是1/4英寸(6毫米)。在晶片和法兰管尺寸中,有一些以很高的流速运转的MFM。制作商供给了多种工艺管配件挑选,包罗:紧缩配件,弹性“ O”形环面密封配件和金属垫片面密封配件。因为入口和出口配件会致使仪器中的压力降落,是以配件的尺寸应在进程线尺寸所施加的限定规模内尽可以或许大。
 
半导体MFC
 
     半导体MFC凡是在仪器的下流装有颗粒过滤器,压力调理器和正停止阀,在下流可以或许有正停止阀和压力调理器。通用仪器还可以或许在其装配中包罗帮助流量组件。
 
     用于高端半导体器件制作的半导体MFC具备几个特别请求,以确保:(1)不颗粒或其余净化物进入制作进程;(2)不有毒的工艺气体逸出MFC;(3)不情况氛围进入该进程。典范的规格是:潮湿的外表必须具备高纯度并停止高度抛光(外表粗拙度在Ra约4至10微英寸(Ra为0.1至0.25微米)规模内;泄露率必须极低;外部活动途径如图所示。图3(此处未显现图3)必须不锋利的角,浮泛或死角,以避免构成颗粒半导体MFCs既有串连设置装备摆设,也有下行设置装备摆设,下行端口减小了轴向尺寸MFC及其帮助活动组件,
 
MFM和MFC的流量调理局部
 
     进入MFM或MFC的流量可以或许因为弯头,缩短,收缩和入口配件引发的下流搅扰而使其流量散布不平均。在中等流量和大流量前提下,品质流量大于50 slpm时特别如斯。上图所示的流量调理局部消弭了这些下流流量的不平均性,并调理了流量,是以传感器管和旁通管可以或许在其通道中发生须要的层流。下流流量不平均度对仪器机能不影响。
 
     在运转中,从入口配件收回的射流进入流量调理局部并撞击中间板。而后它径向向外活动并撞击沉降室的圆柱形内壁。这类盘曲的活动形式有用地消弭了曩昔任何不平均的活动汗青。而后,积淀室会减慢流速,并许可粘性力削减不平均性。而后,当流线穿过入口过滤板或筛网时,流线碰到流阻,流线变得平均且变平,流道也捕获了一切残留的颗粒净化物。在入口过滤器以后,流量曲线在经由进程流量喷嘴时进一步变平。在这一点上,同一流分为后面描写的两条途径:
 
     品质流量小于约50 slpm的低流量仪器,比方半导体MFC,不须要流量调理局部。是以,利用流量调理器取得更高的流速,各类尺寸的毛细管热MFM和MFC不须要大大都其余品种的流量计所需的直线长度的下流和下流管道(即管道)。
 
     要检查流量调理局部的任务道理,请旁观咱们的视频“ 毛细管热品质流量节制器手艺的任务道理” 。
 
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